第35回　半導体プロセス実習?講習会開催（3/23）

2023.01.25

　豊田工業大学は、1981年の開学当初よりクリーンルームを設け、半導体微細加工に関わる教育と研究への取り組みを進めております。特に「半導体プロセス実習?講習会」は産業界からの要望に応じて、1986年から実施しており、中部地域をはじめ多くの地域の産学官の半導体分野関係者からご好評を得ております。今回、3年ぶりの対面開催となるクリーンルーム内での実習では、半導体微細加工の基本技術による熱電対の製作を実際に行い、測定評価までの一連の行程から基礎とノウハウの一端をご体験いただけます。あわせて関連する講義として、マイクロマシンや半導体デバイスと作製プロセスの基礎および本学クリーンルームを活用した研究成果や産学官での活用事例※をご紹介いたします。

半導体プロセスを実体験いただけるこの機会に、皆様のご参加をお待ちしております。

※文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ（設備共用）」事業を活用した事例

• 半導体プロセス実習?講習会ポスター