豊田工大Release
第35回 半導体プロセス実習?講習会を開催しました（3/23）
2023.03.27
第35回半導体プロセス実習?講習会を3年ぶりに対面開催いたしました。
今回の実習?講習会では、半導体微細加工の基本技術による熱電対の製作を実際に行い、測定評価までの一連の行程から基礎とノウハウの一端をご体験いただきました。また、関連する講義として、本学教員によるマイクロマシンや半導体デバイスと作製プロセスの基礎および本学クリーンルームを活用した研究成果や産学官での活用事例をご紹介いたしました。
| プログラム | 内容、講師等 | |
|---|---|---|
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9:00 |
受付 | |
| 9:30 |
オリエンテーション |
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10:00 |
実習（午前の部） |
熱電対デバイス製作を通した半導体プロセス実習 |
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12:00 |
昼休憩 |
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13:00 |
実習（午後の部） | 熱電対デバイス製作を通した半導体プロセス実習 |
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15:30 |
講義① |
熱電対を応用したMEMSセンサの基礎と応用 |
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16:00 |
講義② |
シリコン半導体デバイスと作製プロセスの基礎 |
| 16:30 | 講義③ |
窒化ガリウム(GaN)デバイスと作製プロセスの基礎 |
| 17:00 | 解散 |
本実習?講習会にご興味?ご関心のある方は、下記までお問合せください。過去の実習?講習内容は、こちらからご確認いただけます。
＜お問合せ＞
豊田工業大学 研究支援部
[電話]052-809-1723
[E-Mail] research★toyota-ti.ac.jp（★を@に変更してください）