豊田工大Release
第37回 半導体プロセス実習?講習会を開催しました（9/12, 13）
2024.09.16
第37回半導体プロセス実習?講習会を開催いたしました。今回の実習?講習会では、少人数制で半導体微細加工の基本技術を用いた熱電対の製作を行い、特性評価までの一連の工程から基礎とノウハウの一端をご体験いただきました。また、これに関連して、本学教員による講義として、半導体デバイスの基礎、MOSトランジスタ高性能化技術、MEMSセンサの基礎と応用について学んでいただきました。
ご参加いただき誠にありがとうございました。
〇9/12（木） （1日目）
| プログラム | 内容、講師等 | |
|---|---|---|
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13:00～ |
受付開始 | |
| 13:30～ |
オリエンテーション |
教授 佐々木 実 |
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13:45～ |
講義① |
半導体デバイスの基礎 |
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14:45～ |
講義② |
MOSトランジスタ高性能化技術 |
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15:55～ |
講義③ |
熱電対を応用したMEMSセンサの基礎と応用 |
| 16:55～ |
実習の事前説明 |
教授 佐々木 実 |
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17:10 |
終了 |
〇9/13（金） （2日目）
| プログラム | 内容、講師等 | |
|---|---|---|
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09:30～ |
集合 | |
| 09:40～ |
実習（クリーンルーム 午前の部） |
?熱電対製作実習 ?クリーンルーム内の機器等紹介 |
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12:10～ |
昼休憩 |
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13:10～ |
実習（クリーンルーム 午後の部） |
?熱電対製作実習 ?クリーンルーム内の機器等紹介 |
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15:20～ |
実習（実験室） |
?熱電対測定実習 ?ボンディング実習 |
|
16:30 |
終了 |
本実習?講習会にご興味?ご関心のある方は、下記までお問合せください。過去の実習?講習内容は、こちらからご確認いただけます。
＜お問合せ＞
豊田工業大学 研究支援部
[電話]052-809-1723
[E-Mail] research★toyota-ti.ac.jp（★を@に変更してください）