支援員情報

クリーンルームを中心に技術支援を行っております。また、各研究室管理の設備群もご利用可能となっており、支援員および研究室教員による高度な技術指導や委託加工に対応できます。

実施体制

業務項目	担当者
（1）シリコン微細加工と評価の支援	佐々木 実
（2）MEMSデバイスの作製と評価に関する支援	佐々木 実
（3）化合物半導体量子構造の作製、評価、応用に関する支援	岩田 直高 神谷 格
（4）化合物半導体?シリコン系ナノ構造の作製と評価の支援	大下 祥雄 小島 信晃
（5）プローブ顕微鏡による表面科学計測、ナノカーボン創製と応用の支援	吉村 雅満
（6）スピントロニクス材料の成膜、デバイスの作製と評価の支援	粟野 博之

専任支援員紹介

大槻　浩